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羅茨泵的工作原理

 

  羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與真空泵殼內壁之間,保持有一家的間隙,可以實現高轉速運行。由于羅茨泵串聯使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與真空泵殼之間的空間內,再經排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。

  但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,VO空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間VO中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時,氣體排出真空泵外。

 

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